图书介绍
光致抗蚀剂 光刻胶PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：13031·600
- 出版时间：1977
- 标注页数：190页
- 文件大小：6MB
- 文件页数：195页
- 主题词：
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图书目录
目录1
第一章 光致抗蚀剂简介1
一、光刻工艺与光致抗蚀剂1
二、光致抗蚀剂的种类5
第二章 光致抗蚀剂的类型、感光机理和感光度8
一、光致抗蚀剂的类型及其感光机理8
二、光致抗蚀剂的感光度47
第三章 光刻工艺62
一、粘附62
二、光刻胶的光谱特性与最佳曝光条件71
三、涂胶与涂层厚度86
四、前烘焙与后烘焙89
五、腐蚀92
六、去胶101
七、清洁107
第四章 几种光致抗蚀剂的制备115
一、聚乙烯醇肉桂酸酯光致抗蚀剂115
二、PCDA-053光致抗蚀剂120
三、环化橡胶型光致抗蚀剂129
四、聚酯型光致抗蚀剂141
五、701正性光致抗蚀剂153
第五章 光致抗蚀剂的某些新发展与展望161
一、用于电子束曝光的光致抗蚀剂161
二、由聚合物涂层曝光直接腐蚀薄膜166
三、耐高温的光致抗蚀剂168
四、由表面光聚合形成光致抗蚀剂169
五、由单体直接聚合成感光性树脂171
六、光致抗蚀剂“胶卷”174
七、光敏化电荷转移聚合175
八、感光性树脂增感的研究176