图书介绍
金属有机化合物气相外延基础及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 陆大成，段树坤著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030238450
- 出版时间：2009
- 标注页数：363页
- 文件大小：82MB
- 文件页数：371页
- 主题词：有机金属化合物－气相外延生长－研究
PDF下载
下载说明
金属有机化合物气相外延基础及应用PDF格式电子书版下载
下载的文件为RAR压缩包。需要使用解压软件进行解压得到PDF格式图书。建议使用BT下载工具Free Download Manager进行下载,简称FDM(免费,没有广告,支持多平台）。本站资源全部打包为BT种子。所以需要使用专业的BT下载软件进行下载。如BitComet qBittorrent uTorrent等BT下载工具。迅雷目前由于本站不是热门资源。不推荐使用！后期资源热门了。安装了迅雷也可以迅雷进行下载！
（文件页数 要大于 标注页数，上中下等多册电子书除外）
注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具
图书目录
前言1
第1章 绪论1
1.1 外延生长1
1.2 MOVPE概述5
参考文献8
第2章 MOVPE生长系统10
2.1 MOVPE气体输运分系统11
2.2 MOVPE生长反应室分系统15
2.3 MOVPE尾气处理分系统26
2.4 MOVPE生长控制装置分系统27
2.5 MOVPE外延层生长的原位监测28
参考文献34
第3章 原材料37
3.1 金属有机化合物源37
3.2 氢化物源50
参考文献56
第4章 MOVPE的热力学分析59
4.1 外延生长速度的限制机构59
4.2 MOVPE生长的固溶体固相成分与气相成分关系60
4.3 MOVPE生长相图与单凝聚相生长区75
4.4 掺杂82
参考文献83
第5章 MOVPE化学反应动力学和质量输运86
5.1 MOVPE化学反应动力学86
5.2 MOVPE反应室内的输运现象与模型化96
5.3 MOVPE化学反应-输运模型的应用106
参考文献119
第6章 MOVPE的表面过程123
6.1 表面成核123
6.2 外延生长模式125
6.3 MOVPE环境下的表面再构133
6.4 表面活性剂143
参考文献145
第7章 Ⅲ-V族半导体材料的MOVPE生长148
7.1 GaAs及其固溶体的MOVPE生长148
7.2 InP、GaP及其有关化合物的MOVPE生长170
7.3 锑化物的MOVPE生长184
7.4 氮化物的MOVPE生长192
7.5 选择外延生长和非平面衬底上的外延生长225
7.6 Si、Ge上Ⅲ-V族半导体的MOVPE生长232
参考文献236
第8章 Ⅱ-VI族半导体材料的MOVPE生长248
8.1 ZnSe及其有关化合物的MOVPE生长249
8.2 ZnO及其固溶体的MOVPE生长255
8.3 HgCdTe的MOVPE生长261
参考文献266
第9章 低维半导体材料的MOVPE生长270
9.1 量子阱结构的MOVPE生长271
9.2 量子点和量子线结构的生长283
参考文献292
第10章 MOVPE技术在半导体器件方面的应用295
10.1 发光二极管295
10.2 激光器306
10.3 太阳能电池324
10.4 半导体光探测器333
10.5 高电子迁移率场效应晶体管338
10.6 异质结双极晶体管345
10.7 光电集成电路350
参考文献354
后记360