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硕士学位论文 活动模板微小群孔电解加工技术研究
  • 孙毅 著
  • 出版社: 南京航空航天大学
  • ISBN:
  • 出版时间:2009
  • 标注页数:62页
  • 文件大小:49MB
  • 文件页数:76页
  • 主题词:

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图书目录

第一章 绪论1

1.1 课题背景1

1.2 微细加工技术1

1.2.1 硅微细加工技术1

1.2.2 LIGA和准LIGA技术2

1.2.3 微细机械加工技术3

1.2.4 微细电解加工技术4

1.2.5 微细电火花加工技术5

1.2.6 激光微细加工技术6

1.3 微小群孔结构及其加工方法7

1.3.1 微小群孔结构的特点及应用7

1.3.2 微小群孔结构的加工方法8

1.4 课题的研究意义及主要内容11

1.4.1 课题的研究目的及意义11

1.4.2 课题的主要研究内容12

第二章 活动模板电解加工理论基础13

2.1 电解加工基础理论13

2.1.1 法拉第定律13

2.1.2 电极/溶液界面双电层14

2.1.3 阳极极化15

2.2 电解加工工艺原理及特点16

2.2.1 电解加工电化学原理16

2.2.2 电解加工的特点17

2.3 阴极活动模板双面电解加工机理18

2.3.1 阴极活动模板双面电解加工机理18

2.3.2 影响阴极活动模板电解加工精度的因素19

2.4 电解加工有限元电场分析21

2.5 本章小结24

第三章 活动模板电解加工工艺系统25

3.1 电解加工装备25

3.1.1 电解加工机床25

3.1.2 电解加工电源26

3.1.2.1 直流电源26

3.1.2.2 斩波器26

3.1.3 电解液循环系统28

3.1.3.1 电解液系统28

3.1.3.2 冲液方式设计30

3.1.3.3 电解液流速和冲液压力的确定31

3.1.3.4 电解液选择33

3.2 电解夹具设计34

3.3 阴极模板制作35

3.3.1 模板材料35

3.3.2 阴极模板制作36

3.4 本章小结37

第四章 多孔径微小群孔电解加工工艺研究39

4.1 群孔加工试验介绍及分析39

4.1.1 衡量群孔加工质量的标准39

4.1.2 单面加工与双面加工方法的比较40

4.2 多孔径微小群孔电解加工试验及分析41

4.2.1 试验介绍41

4.2.2 夹具状态对加工结果的影响42

4.2.2.1 夹紧凸起间距对加工结果的影响42

4.2.2.2 流道深度对加工结果的影响44

4.2.3 绝缘层厚度对加工结果的影响47

4.2.4 占空比对加工结果的影响50

4.2.5 电解液压力对加工结果的影响52

4.3 弹性夹紧状态多孔径微小群孔加工54

4.4 本章小结55

第五章 总结与展望56

5.1 本文的主要结论56

5.2 对本课题研究的展望56

参考文献58

致谢61

攻读学位期间发表的学术论文62

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