图书介绍
金刚石膜制备与物性研究及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 吴春雷著 著
- 出版社： 北京：冶金工业出版社
- ISBN：9787502477974
- 出版时间：2019
- 标注页数：164页
- 文件大小：23MB
- 文件页数：174页
- 主题词：类金刚石膜－研究
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图书目录
1绪论1
1.1 金刚石的晶体结构2
1.2 金刚石的性能及应用4
1.2.1 力学性能及应用5
1.2.2 热学性能及应用7
1.2.3 电学性能及应用10
1.2.4 光学性能及应用12
1.2.5 化学性能及应用14
1.2.6 生物医学领域15
1.3 金刚石的分类15
1.4 化学气相沉积金刚石膜的研究进展及发展前景18
参考文献21
2 CVD金刚石的成膜机理及制备方法27
2.1 CVD法生长金刚石膜的机理27
2.2 CVD金刚石膜的制备方法简介31
2.2.1 热丝CVD法32
2.2.2 微波等离子体CVD法34
2.2.3 等离子体喷射CVD法36
2.2.4 电子回旋共振CVD法36
2.2.5 燃烧火焰辅助CVD法37
参考文献37
3金刚石膜的制备设备和表征手段39
3.1 直流热阴极PCVD实验装置及实验准备39
3.1.1 直流热阴极PCVD实验装置39
3.1.2 直流辉光放电等离子体原理43
3.1.3 实验准备及样品的制备46
3.2 金刚石膜的形貌、结构和性能表征48
3.2.1 扫描电子显微镜（SEM）48
3.2.2 X射线衍射分析仪（XRD）51
3.2.3 激光拉曼光谱仪（Raman）53
3.2.4 霍尔效应测试仪（Hall）56
3.2.5 原子力显微镜58
3.2.6 透射电子显微镜（TEM）60
3.2.7 金相显微镜61
参考文献62
4 CH4/H2气氛下金刚石膜生长特性研究65
4.1 压强对金刚石膜生长特性的影响65
4.1.1 较高CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响66
4.1.2 较低CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响69
4.2 衬底温度对金刚石膜生长特性的影响73
4.2.1 SEM分析74
4.2.2 Raman分析75
4.2.3 XRD分析77
4.2.4 综合分析78
4.3 CH4流量对金刚石膜生长特性的影响78
4.3.1 SEM分析78
4.3.2 Raman分析80
4.3.3 XRD分析81
4.3.4 综合分析83
4.4 本章小结83
参考文献84
5低温低压下纳米金刚石膜的制备及性能分析85
5.1 样品的制备87
5.2 结果与讨论87
5.2.1 SEM分析87
5.2.2 Raman分析90
5.2.3 XRD分析92
5.3 本章小结94
参考文献94
6氮掺杂金刚石膜的制备与性能研究97
6.1 金刚石膜的掺杂研究概述97
6.2 氮源性质简介101
6.3 C3H6N6流量对金刚石膜的生长特性影响研究102
6.3.1 SEM分析102
6.3.2 Raman分析104
6.3.3 XRD分析106
6.3.4 电学性能分析107
6.4 N2流量对金刚石膜生长特性影响研究108
6.4.1 SEM分析108
6.4.2 Raman分析108
6.4.3 XRD分析109
6.4.4 电学性能分析110
6.5 NH3对金刚石膜生长特性影响研究111
6.5.1 SEM分析112
6.5.2 Raman分析112
6.5.3 XRD分析114
6.5.4 电学性能分析114
6.6 Ar气浓度对氮掺杂金刚石膜的生长特性影响115
6.6.1 SEM分析117
6.6.2 Raman分析118
6.6.3 XRD分析119
6.6.4 不同Ar/H2流量比对纳米晶金刚石膜电学性能的影响119
6.7 本章小结120
参考文献121
7金刚石膜的高温氧化126
7.1 金刚石氧化现象和机理126
7.1.1 CVD金刚石膜的氧化现象126
7.1.2 CVD金刚石膜的氧化机理128
7.2 高温氧化对金刚石膜的性能的影响130
7.3 影响金刚石膜氧化性能的因素131
参考文献132
8金刚石膜压力传感器135
8.1 金刚石传感器的相关技术135
8.1.1 金刚石膜的图形化技术135
8.1.2 金属化（金刚石传感器的欧姆接触）135
8.2 压阻式金刚石膜压力传感器136
8.2.1 压阻式传感器基本原理136
8.2.2 压阻式金刚石压力传感器的制造137
8.2.3 压阻式金刚石压力传感器研究现状及存在问题139
参考文献140
9金刚石膜电极的电化学应用142
9.1 金刚石膜电极优势142
9.2 电化学污水处理144
9.3 离子水洗衣机147
9.4 电化学分析检测151
9.4.1 COD的检测151
9.4.2 医用药品的检测151
9.4.3 金属元素及其他无机物的检测152
9.4.4 生物传感器领域的应用153
9.4.5 农药残留以及食品添加剂的检测153
参考文献154