图书介绍
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- 著
- 出版社： 南京工学院
- ISBN：
- 出版时间：1981
- 标注页数：236页
- 文件大小：33MB
- 文件页数：242页
- 主题词：
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图书目录
绪论1
第一章 真空技术的物理基础3
第一节 气体分子运动论的基本概念3
第二节 气体分子速度的分布4
第三节 气体分子之间的碰撞9
第四节 气体分子与器壁之间的碰撞——余弦定理13
第五节 气体沿导管的流动16
第六节 真空系统抽气过程的理论基础25
第二章 真空获得设备29
第一节 概述29
第二节 油封机械真空泵31
第三节 分子泵43
第四书扩散泵49
第五节 吸附泵60
第六节 热钛泵67
第七节 溅射离子泵78
第八节 冷凝泵89
第九节 真空泵的性能测试93
第三章 真空测量98
第一节 概述98
第二节 利用气体放电粗略估计真空度98
第三节 压缩式真空计101
第四节 热偶真空计103
第五节 普通热阴极电离真空计106
第六节 热阴极超高真空电离计109
第七节 冷阴极磁控电离计（冷规）111
第八节 真空计的校准112
第四章 真空元件116
第一节 真空阀门116
第二节 捕集器（阱）129
第三节 干燥器（干燥罐）139
第五章 真空密封与连接141
第一节 概述141
第二节 可拆连接141
第三节 可动连接153
第四节 不可拆连接161
第六章 真空中常用的材料163
第一节 概述163
第二节 金属材料163
第三节 非金属材料170
第四节 真空泵油175
第七章 真空系统设计178
第一节 真空系统的基本形式178
第二节 真空系统的基本要求184
第三节 流导的计算186
第四节 真空容器的设计198
第五节 真空系统元件的参量计算及选择201
第六节 抽气时间的计算205
第七节 真空系统的安装与调试207
第八节 真空系统计算举例210
第八章 真空检漏214
第一节 概述214
第二节 检漏方法215
第三节 补漏剂226
第九章 真空应用设备举例227
第一节 排气设备227
第二节 电子束蒸发镀膜设备231