图书介绍

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上海电动工具研究所编著
出版社：第一机械工业部科学技术情报研究所
ISBN：
出版时间：1980
标注页数：171页
文件大小：40MB
文件页数：177页
主题词：

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图书目录

一、综述1

（一）真空技术的重要性1

（二）国外真空科研概况3

1．当前真空科研动向3

2．表面科学4

3．薄膜物理及技术6

（三）国外真空工业的现状与发展趋势9

1．真空工业的范围9

2．真空工业的现状9

3．真空工业的发展趋势13

二、国外真空科研活动简介（组织机构与会议）14

（一）真空科学技术历史简介14

（二）国际真空科学、技术及应用联合会（IUVSTA）简介16

1．联合会组织基本情况简介16

2．历届国际真空会议简况表17

（三）美国真空科学技术团体简介18

1．美国真空协会（AVS）简介18

2．美国真空设备制造商协会（AVEM）简介18

3．美国真空镀膜装置协会（SVC）简介18

（四）日本真空技术株式会社（ULVAC）科研机构简介18

1．公司技术开发部简介18

2．超材料研究所简介19

（五）英国爱德华真空学校简介21

（六）国外真空专业杂志及有关杂志表22

三、国外真空企业情况简介（主要国家主要公司）24

（一）美国瓦里安（Varian）公司简介24

（二）美国威科（Veeco）公司简介27

（三）美国珀金—埃尔默（Perkin-Elmer Corp）公司简介28

（四）美国真空联合公司（C·V·C）简介29

（五）美国G·C·A公司简介29

（六）美国斯隆技术公司（Sloan Technology Corp．）简介30

（七）日本真空技术株式会社（ULVAC）简介30

（八）日本日电瓦里安（NEVA）公司简介32

（九）日本大阪真空机器制作所简介34

（十）日本岛津制作所简介35

（十一）日本德田制作所简介35

（十二）日本真空器械工业株式会社简介35

（十三）西德莱博尔德—黑罗依斯（Leybold-Heraeus）公司简介36

（十四）法国SOGEV公司简介39

（十五）英国V.G．公司简介40

（十六）英国爱德华高真空公司（Edwards）简介40

（十七）瑞士巴尔泽斯（Balzers）公司简介40

四、国外真空产品情况简介（真空仪器与真空镀膜装置）41

（一）真空检测仪器41

1．真空计（全压强测量）42

（1）热导真空计42

（2）麦氏真空计和压缩式真空计44

（3）机械式真空计44

（4）潘宁式真空计45

（5）热阴极电离真空计45

（6）真空继电器47

（7）真空过程控制器47

（8）日本日电瓦里安（ANELVA）公司产品49

（9）日本真空技术株式会社（ULVAC）产品50

2．真空残余气体分析仪器（分压强测量）51

（1）英国AEI公司产品51

（2）英国VG公司产品52

（3）美国C.V.C．公司产品55

（4）美国瓦里安（Varian）公司产品56

（5）日本日电瓦里安（ANELVA）公司产品56

（6）日本真空技术株式会社（ULVAC）产品59

（7）法国RIBER公司产品60

（8）西德VARIAN.MAT公司产品61

3．真空检漏仪器62

（1）美国瓦里安公司产品62

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔（Airco-remascal）公司产品63

（3）法国奥尔凯通（ALCATEL）公司产品63

（4）英国爱德华公司（Edwards）产品66

（5）英国Centronic公司产品69

（6）日本真空技术株式会社产品70

（7）日本日电瓦里安公司产品72

（8）使用探索气体的非质谱型检漏仪74

（二）真空表面仪器76

1．概述76

2．主要制造公司及产品77

（1）瑞士巴尔泽斯公司产品77

（2）美国物理电子工业公司产品78

（3）英国V·G公司产品78

（4）美国瓦里安公司产品79

（5）美国威科公司产品79

（三）真空镀膜装置79

1．真空蒸发镀膜装置79

（1）美国C.V.C．公司产品79

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔公司产品81

（3）美国瓦里安公司产品82

（4）美国威科公司产品84

（5）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品85

（6）日本日电瓦里安公司产品88

（7）日本真空技术株式会社产品88

（8）英国爱德华公司产品94

（9）瑞士巴尔泽斯公司产品94

2．真空溅射镀膜装置95

（1）美国CVC公司产品95

（2）美国爱柯—台梅斯凯尔公司产品98

（3）美国瓦里安公司产品100

（4）美国威科公司产品101

（5）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品101

（6）日本日电瓦里安公司产品104

（7）日本真空技术株式会社产品109

（8）瑞士巴尔泽斯公司产品112

3．真空镀膜自动控制仪器及膜厚测量仪器113

（1）美国斯隆公司（Sloan）产品113

（2）西德莱博尔德—黑罗依斯公司产品117

（3）膜厚监控器119

（4）光学膜厚监控器120

（5）淀积速率计120