图书介绍
低温尘埃等离子体PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 刘相梅著 著
- 出版社： 哈尔滨：哈尔滨工程大学出版社
- ISBN：9787566111920
- 出版时间：2016
- 标注页数：116页
- 文件大小：17MB
- 文件页数：123页
- 主题词：低温－粉尘－等离子体－研究
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图书目录
第1章 尘埃等离子体概述1
1.1 尘埃等离子体简介2
1.2 低温尘埃等离子体应用8
1.3 低温尘埃等离子体的研究方法及现状11
1.4 本章小结16
第2章 低温尘埃等离子体物理基础17
2.1 尘埃颗粒的形成和生长17
2.2 尘埃颗粒的充电19
2.3 尘埃颗粒的受力23
2.4 本章小结26
第3章 硅薄膜中尘埃颗粒成核阶段27
3.1 概述27
3.2 模型描述28
3.3 模拟结果与讨论39
3.4 本章小结47
第4章 硅薄膜中尘埃颗粒凝聚阶段48
4.1 概述48
4.2 凝聚过程模拟49
4.3 结果与讨论52
4.4 本章小结59
第5章 甚高频放电中尘埃颗粒生长阶段的二维模拟60
5.1 概述60
5.2 二维模型描述61
5.3 模拟结果与讨论63
5.4 本章小结70
第6章 碳薄膜中尘埃颗粒形成机制研究73
6.1 概述73
6.2 模型描述75
6.3 模拟结果与讨论88
6.4 本章小结93
第7章 脉冲调制射频放电中尘埃颗粒生长机制研究94
7.1 概述94
7.2 模型描述96
7.3 结果与讨论98
7.4 本章小结103
第8章 结论104
参考文献106