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目 录1

第一章测长仪器1

第一节立式接触干涉仪1

一、工作原理1

二、调整与修理2

第二节0.2μm投影光学计6

一、工作原理6

二、光学系统7

三、调整与修理8

第三节光学计12

一、工作原理12

二、调整与修理12

第四节测长机18

一、工作原理18

二、拆卸程序19

三、调整与修理22

第五节立、卧式测长仪29

一、工作原理29

二、立式测长仪的调整与修理31

三、卧式测长仪的调整与修理33

第二章工具显微镜37

第一节通用的万能工具显微镜37

一、概述37

二、拆卸38

三、调修顺序44

四、调整与修理45

五、附件54

第二节大工具显微镜57

一、拆卸57

二、调整与修理59

第三节19JA万能工具显微镜63

第四节 OPTON万能工具显微镜64

一、概述64

二、调整与修理66

第五节莱茨一米万能工具显微镜71

一、导轨主体的调整72

二、顶尖附件调整75

三、双目显微镜调修75

四、纵、横刻线尺位置调整78

五、光学分度头附件调整与修理81

第六节莱茨UWM-Ⅲ大型工具显微镜83

一、光学系统83

二、拆卸85

三、主显微镜的调整与修理93

四、纵、横向拖板系统调整99

五、纵、横向读数系统调整100

六、立柱、显微镜臂架系统101

第七节UWM200万能工具显微镜103

一、光学系统103

二、拆卸105

三、调整和修理112

第三章测角仪器115

第一节10″光学分度头115

一、概述115

二、读数系统的调整与修理116

三、轴系调整与修理119

四、工作台工作面直线度的修理121

五、示值误差的调修121

第二节Leitz2″光学分度头121

一、读数系统的调修121

二、导程测量装置的调修125

第三节P3（P1）光学分度头126

一、概述126

三、主轴调修126

二、轴系调修127

三、投影屏系统调修130

四、示值误差调整132

第四节SG01.1测角仪132

一、概述132

二、轴系和锁紧、微动装置的修理133

三、度盘、符合成像和读数系统的校正133

四、自准望远镜和平行光管的调整137

第五节C-20测角仪143

一、概述143

二、光学系统的清洗143

三、读数系统的调整144

四、度盘偏心的调整146

六、测微器行差的调整147

五、符合倍率147

七、测微器手轮限程的调整148

第六节 自准直仪148

一、分光棱镜的调整148

二、目镜装调149

三、物镜调整149

四、示值误差调整150

第四章齿轮测量仪器152

第一节万能渐开线检查仪152

一、基圆零位误差的调整152

二、误差曲线的调修153

三、测头缓冲装置失调的修复154

四、示值稳定性不好的修复155

五、用不同基圆直径的样板检定综合示值误差时出现结论差异的消除157

六、记录示值死程超差的调修157

七、示值误差在起始位置走弧线的调整158

八、记录器卡住的修复159

九、指示表和记录器放大比不合格的调整160

十、记录器摆动太大及其他电气方面容易出现的故障的排除161

第二节 SP-60、PH-100型齿轮检查仪161

一、基圆零位的调整162

二、误差曲线的调修162

三、示值稳定性修复163

四、螺旋角零位不正确的调整164

五、螺旋角示值超差调整165

六、综合示值误差局部误差的消除166

七、螺旋导槽滑块故障的消除166

八、渐开线齿形误差曲线中根部误差的消除167

九、立滑架部位故障的排除167

第三节滚刀检查仪169

一、概述169

二、主体部分的调修170

三、光学部分的调修171

四、机械部分的调修172

五、传感器轴向、径向运动部分的调整172

第五章200型万能比较仪175

一、概述175

二、调整与修理175

第六章表面粗糙度测量仪179

第一节干涉显微镜179

一、概述179

二、调整与修理179

第二节泰勒四型轮廓仪184

一、维修的一般方法184

二、轮廓仪的维修185

第七章大型投影仪188

一、概述188

二、拆卸189

三、调修191