图书介绍
MEMS集成设计技术及应用PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 苑伟政，谢建兵，焦文龙著 著
- 出版社： 北京：国防工业出版社
- ISBN：9787118095838
- 出版时间：2014
- 标注页数：294页
- 文件大小：33MB
- 文件页数：314页
- 主题词：微电子技术－研究
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图书目录
第1章 绪论1
1.1 引言1
1.2 MEMS集成设计技术2
1.3 MEMS集成设计工具现状与发展趋势3
1.4 国外主要MEMS集成设计工具5
1.4.1 CoventorWare5
1.4.2 MEMS+6
1.4.3 MEMS Pro/MEMS Xplorer7
1.4.4 IntelliSuite7
1.5 国内MEMS集成设计工具9
1.6 MEMS集成设计关键技术10
参考文献10
第2章 MEMS系统级仿真平台构建技术12
2.1 引言12
2.2 MEMS系统级前处理器技术12
2.2.1 系统级模型的图形化建模平台技术13
2.2.2 系统级异构建模技术14
2.2.3 系统级模型网表生成技术18
2.3 MEMS系统级求解器技术18
2.3.1 外部网表文件直接求解技术18
2.3.2 模拟信号求解技术20
2.3.3 MEMS与接口电路的跨尺度混合信号仿真技术25
2.3.4 系统级设计优化技术28
2.4 MEMS系统级后处理器技术40
2.4.1 系统级解算结果波形显示技术40
2.4.2 系统级仿真结果的三维可视化技术41
参考文献43
第3章 MEMS系统级多端口组件建模技术44
3.1 引言44
3.2 多端口组件模型的建立45
3.2.1 多端口组件的一般形式45
3.2.2 多端口组件网络50
3.2.3 基于硬件描述语言的编码技术51
3.2.4 MEMS的多端口三维组件库52
3.2.5 结构域组件行为建模方法55
3.2.6 多域耦合组件行为建模方法64
3.2.7 微流控芯片组件行为建模方法73
3.3 多端口组件模型的自主定义与扩展方法81
3.3.1 组件构成及其行为方程82
3.3.2 组件自主定义软件83
参考文献84
第4章 MEMS器件级仿真平台构建技术87
4.1 引言87
4.2 MEMS器件级仿真模型库构建技术87
4.2.1 基于算例库的MEMS器件级仿真模型库构建技术87
4.2.2 有限元形函数库的建立方法101
4.3 器件物理方程自主定义与求解技术108
4.4 MEMS器件级求解器技术109
4.4.1 单能量域分析求解技术109
4.4.2 多域耦合分析求解技术124
4.5 器件级设计优化技术129
4.6 器件级仿真结果可视化技术131
4.6.1 数据处理方法131
4.6.2 数据显示方法133
4.6.3 数据保存方法136
参考文献137
第5章 宏建模技术138
5.1 引言138
5.2 大规模线性系统的动态宏建模方法138
5.2.1 基于Krylov子空间投影的宏建模原理139
5.2.2 基于迭代IRS技术的动态宏建模方法151
5.3 非线性系统的动态宏建模方法154
5.3.1 大变形非线性154
5.3.2 POD-Galerkin方法156
5.4 多域耦合系统的动态宏建模方法160
5.4.1 Hamilton原理与Lagrange动力学方程160
5.4.2 线性MEMS的模态叠加原理162
5.4.3 多域耦合MEMS宏模型提取164
5.5 参数化宏建模技术167
5.5.1 角度参数化167
5.5.2 材料属性参数化169
参考文献175
第6章 MEMS工艺级建模与仿真技术180
6.1 引言180
6.2 MEMS工艺级仿真模型库构建技术181
6.2.1 典型MEMS组件的参数化版图库构建技术181
6.2.2 设计规则检查技术183
6.2.3 工艺规则检查技术188
6.2.4 材料数据库构建技术190
6.3 MEMS工艺级几何仿真技术192
6.3.1 工艺编辑器技术192
6.3.2 工艺过程动态可视化技术196
6.3.3 任意区域版图的实时三维可视化技术196
参考文献199
第7章 MEMS集成设计工具转换接口构建技术200
7.1 引言200
7.2 系统级到工艺级转换技术201
7.3 系统级到器件级转换技术204
7.4 器件级到工艺级转换技术206
7.5 器件级到系统级转换技术209
7.6 工艺级到器件级转换技术212
7.7 工艺级到系统级转换技术215
参考文献219
第8章 MEMS Garden及使用220
8.1 引言220
8.2 MEMS Garden软件框架220
8.3 MEMS Garden特色222
8.4 软件操作实例224
8.5 工程的创建225
8.6 系统级仿真225
8.7 器件级仿真233
8.8 含降阶宏模型的系统级仿真240
8.8.1 矩阵输出240
8.8.2 降阶宏模型生成244
8.8.3 系统级仿真244
8.9 工艺级设计247
参考文献250
第9章 MEMS Garden器件设计实例251
9.1 引言251
9.2 微机械扭转镜251
9.3 谐振式压力传感器256
9.4 压阻式压力传感器260
9.5 浮动式剪应力传感器264
9.6 热敏剪应力传感器269
9.7 合成射流器271
9.8 细胞分选微网筛274
9.9 Z轴微机械陀螺278
9.10 微机械加速度计284
9.11 MEMS光开关288
缩略语291