图书介绍
纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 赵晓锋著 著
- 出版社： 湘潭：湘潭大学出版社
- ISBN：9787811291261
- 出版时间：2009
- 标注页数：246页
- 文件大小：38MB
- 文件页数：255页
- 主题词：压力传感器－研究；磁性传感器－研究
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图书目录
第1章 绪论1
1.1 引言1
1.2 多功能传感器研究现状2
1.3 MOSFET压力传感器研究现状11
1.4 MSFET磁传感器研究现状17
1.5 纳米硅/单晶硅异质结研究现状21
1.6 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究目的和意义23
1.7 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究的主要内容24
第2章 纳米硅薄膜制备及表征研究27
2.1 纳米硅薄膜27
2.2 PECVD制备多晶硅薄膜28
2.3 LPCVD制备纳米硅薄膜33
2.4 小结48
第3章 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析49
3.1 MOSFETs压/磁多功能传感器理论模型49
3.2 MOSFETs压/磁多功能传感器理论分析50
3.3 小结59
第4章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计和电源激励方式61
4.1 半导体材料压阻效应基本理论62
4.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构设计70
4.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏结构电源激励方式96
4.4 小结99
第5章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏结构设计和工作原理101
5.1 霍尔效应101
5.2 纳米硅/单晶硅异质结p—MOSFET Hall器件基本结构及工作原理103
5.3 纳米硅/单晶硅异质结p—MOSFET Hall器件串联输出结构及工作原理105
5.4 小结107
第6章 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构与制作工艺109
6.1 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器基本结构109
6.2 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器制作工艺110
6.3 小结117
第7章 实验结果与讨论118
7.1 纳米多晶硅薄膜压阻特性119
7.2 纳米硅/单晶硅异质结p—MOSFET特性140
7.3 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压敏特性159
7.4 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器磁敏特性189
7.5 纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器压/磁特性223
7.6 小结224
第8章 结论228
参考文献234