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固态器件 2 英文
  • (摩尔)科瑞特森科韦主编 著
  • 出版社: 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社
  • ISBN:9787560341552
  • 出版时间:2013
  • 标注页数:268页
  • 文件大小:59MB
  • 文件页数:292页
  • 主题词:化学传感器-固态器件-英文

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图书目录

6运用热释电和热电效应的气体传感器1

1传感器工作的基本原理1

2热能转换材料2

3制造与封装6

4参数9

5传感器参数的优化方法12

6应用领域与传感器市场20

7总结23

参考文献23

7量热式传感器27

1引言27

2量热式传感器的基本原理28

3催化燃烧设备32

4薄膜与MEMS设备32

5材料39

6毒化41

7信号分析与运行模式43

8封装45

9应用49

10结论55

参考文献55

8基于微悬臂梁的化学传感器61

1引言61

2微悬臂梁及其运行模式62

3微悬臂偏转检测方法64

4谐振工作模式69

5微悬臂梁的弯曲行为72

6励磁技术74

7微悬臂梁的制备75

8表面功能化82

9微悬臂梁式传感器89

10悬臂梁式化学传感器的应用91

11生物传感器的应用100

12超敏感纳米悬臂梁103

13基于微机械悬臂梁阵列的电子鼻104

14商业地位107

15展望与未来趋势107

参考文献108

9石英晶体微天平117

1引言117

2压电材料121

3石英晶体微天平(QCM)的操作基础126

4 QCM反应的理论分析137

5 QCM传感器的应用150

6展望168

7石英晶体与石英晶体微平衡公司169

8术语169

9致谢171

10推荐延伸阅读171

参考文献171

10声表面波传感器的化学应用187

1引言187

2最先进的声表面波(SAW)传感器188

3包覆材料197

4应用204

5表面与体声波设备的比较211

6 SAW传感器的市场211

7 SAW传感器的功能与局限性213

8展望215

参考文献215

11集成化学传感器225

1引言225

2 CMOS技术226

3 NIST CMOS MEMS技术234

4 CMU CMOS MEMS技术238

5 Jazz SiGe BiCMOS技术244

6集成CMOS技术的其他类型MEMS气体传感器247

7结论251

参考文献251

索引255

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