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![固态器件 2 英文](https://www.shukui.net/cover/76/35094939.jpg)
- (摩尔)科瑞特森科韦主编 著
- 出版社: 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社
- ISBN:9787560341552
- 出版时间:2013
- 标注页数:268页
- 文件大小:59MB
- 文件页数:292页
- 主题词:化学传感器-固态器件-英文
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图书目录
6运用热释电和热电效应的气体传感器1
1传感器工作的基本原理1
2热能转换材料2
3制造与封装6
4参数9
5传感器参数的优化方法12
6应用领域与传感器市场20
7总结23
参考文献23
7量热式传感器27
1引言27
2量热式传感器的基本原理28
3催化燃烧设备32
4薄膜与MEMS设备32
5材料39
6毒化41
7信号分析与运行模式43
8封装45
9应用49
10结论55
参考文献55
8基于微悬臂梁的化学传感器61
1引言61
2微悬臂梁及其运行模式62
3微悬臂偏转检测方法64
4谐振工作模式69
5微悬臂梁的弯曲行为72
6励磁技术74
7微悬臂梁的制备75
8表面功能化82
9微悬臂梁式传感器89
10悬臂梁式化学传感器的应用91
11生物传感器的应用100
12超敏感纳米悬臂梁103
13基于微机械悬臂梁阵列的电子鼻104
14商业地位107
15展望与未来趋势107
参考文献108
9石英晶体微天平117
1引言117
2压电材料121
3石英晶体微天平(QCM)的操作基础126
4 QCM反应的理论分析137
5 QCM传感器的应用150
6展望168
7石英晶体与石英晶体微平衡公司169
8术语169
9致谢171
10推荐延伸阅读171
参考文献171
10声表面波传感器的化学应用187
1引言187
2最先进的声表面波(SAW)传感器188
3包覆材料197
4应用204
5表面与体声波设备的比较211
6 SAW传感器的市场211
7 SAW传感器的功能与局限性213
8展望215
参考文献215
11集成化学传感器225
1引言225
2 CMOS技术226
3 NIST CMOS MEMS技术234
4 CMU CMOS MEMS技术238
5 Jazz SiGe BiCMOS技术244
6集成CMOS技术的其他类型MEMS气体传感器247
7结论251
参考文献251
索引255