图书介绍
纳米尺度几何量和机械量测量技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 赵学增，王伟杰著 著
- 出版社： 哈尔滨：哈尔滨工业大学出版社
- ISBN：7560338644
- 出版时间：2012
- 标注页数：284页
- 文件大小：82MB
- 文件页数：296页
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图书目录
第1章 纳米尺度线宽（CD）测量1
1.1概述1
1.1.1纳米尺度线宽（CD）测量研究的应用背景1
1.1.2 Nano 1线宽测量国际比对项目3
1.1.3常用的线宽测量技术和方法简介4
1.1.4纳米线宽（CD）测量的研究现状6
1.1.5目前线宽测量工具存在的缺点与不足8
1.2原子力显微镜AFM及其在线宽测量中的应用9
1.2.1原子力显微镜概述9
1.2.2 AFM在线宽测量中的应用12
1.2.3原子力显微镜的最新发展14
1.3线宽的测量模型与算法15
1.3.1基于最小二乘法原理的测量模型16
1.3.2基于最小二乘模型的测量结果分析21
1.3.3使用不同探针测量结果的比较24
1.4扫描图像数据的分析及误差修正28
1.4.1探针膨胀作用的消除28
1.4.2扫描图像的滤波去噪33
1.4.3样本倾斜位置的修正38
1.5线宽测量误差及不确定度分析40
1.5.1不确定度的估计与合成41
1.5.2线宽的计算及误差修正42
1.5.3线宽测量的不确定度分析43
1.5.4实验与不确定度值的估算46
1.6双图像拼接法的研究49
1.6.1双图像拼接法的提出50
1.6.2刚体的空间位置变换51
1.6.3扫描图像的匹配53
1.6.4图像的插值和拟合56
1.6.5实验与结果分析57
参考文献60
第2章 纳米尺度边缘粗糙度（LER）测量69
2.1概述69
2.1.1纳米尺度边缘粗糙度（LER）测量的研究背景69
2.1.2线边缘粗糙度的研究内容及其发展70
2.1.3线边缘粗糙度测量技术的研究现状72
2.1.4线边缘粗糙度测量的关键问题分析79
2.2线边缘粗糙度的定义及其表征参数的研究81
2.2.1线边缘粗糙度测量的需求分析81
2.2.2线边缘粗糙度的定义研究87
2.2.3线边缘粗糙度的表征参数89
2.3基于AFM的线边缘粗糙度测量模型92
2.3.1测量样本与测量条件93
2.3.2线边缘粗糙度测量模型的建立94
2.3.3测量结果与分析100
2.4线边缘粗糙度的多尺度表征方法研究104
2.4.1线边缘粗糙度特性分析105
2.4.2基于冗余第二代小波变换的LER多尺度表征107
2.4.3随机轮廓仿真与分析119
2.4.4测量结果与分析122
2.5 AFM测量线边缘粗糙度影响因素的研究126
2.5.1探针对扫描图像的影响127
2.5.2 AFM扫描图像噪声的影响130
2.5.3压电晶体驱动精度的影响133
2.5.4扫描采样间隔的影响136
参考文献139
第3章 纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量150
3.1概述150
3.1.1纳米尺度力学量测量的研究意义和背景151
3.1.2 AFM在纳米尺度力学测量中的应用状况152
3.1.3微悬臂梁制造与应用状况153
3.1.4微悬臂梁刚度测量的研究现状154
3.2微悬臂梁频率响应特性研究157
3.2.1微悬臂梁振动分析157
3.2.2基于有限元法的微悬臂梁频率响应特性仿真161
3.2.3杨氏模量与离面弯曲固有频率关系模型164
3.3流体环境对微悬臂梁频率响应影响研究165
3.3.1简化分析法166
3.3.2微悬臂梁尺寸效应和流固耦合效应169
3.3.3简化气弹模型方法171
3.3.4计算流体力学方法175
3.4微悬臂梁刚度测量方法研究179
3.4.1微悬臂梁杨氏模量测试179
3.4.2微悬臂梁刚度测量185
3.4.3刚度测量结果与分析188
3.5微悬臂梁刚度校正190
3.5.1安装倾斜角对刚度的影响分析191
3.5.2针尖位置对微悬臂刚度的影响分析193
3.5.3接触刚度对微悬臂梁刚度影响的分析195
3.5.4面内变形对刚度的影响分析198
3.5.5等效刚度综合校正200
参考文献202
第4章 微纳尺度固液界面边界条件测量209
4.1概述209
4.1.1研究背景209
4.1.2疏水表面纳米气泡研究进展212
4.1.3固液界面边界滑移研究进展及其测量技术214
4.1.4纳米气泡与边界滑移关系研究进展220
4.1.5纳米气泡与边界滑移研究中存在的问题220
4.2聚苯乙烯表面纳米气泡AFM成像222
4.2.1改进的液体中微悬臂夹持器222
4.2.2聚苯乙烯表面纳米气泡特征223
4.2.3影响纳米气泡成像扫描参数226
4.2.4力调制模式下探针与纳米气泡的相互作用研究229
4.3纳米气泡产生纳米凹痕的机理研究233
4.3.1纳米气泡存在对聚苯乙烯表面的影响233
4.3.2疏水表面纳米凹痕形成235
4.3.3纳米凹痕形成机理237
4.4表面纳米结构提高纳米气泡非移动性研究240
4.4.1纳米尺度动态接触角测量技术241
4.4.2纳米气泡非移动性理论模型244
4.4.3纳米气泡非移动性实验验证247
4.5固液界面滑移长度测量方法的研究252
4.5.1纳米气泡与边界滑移关系模型253
4.5.2实验装置及样品制备254
4.5.3接触模式AFM滑移长度的测量257
4.5.4敲击模式AFM滑移长度的测量263
4.5.5纳米气泡与边界滑移关系的实验验证267
参考文献270
附录 作者发表的与本书相关的文章目录279
术语索引282