图书介绍
声表面波材料与器件PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 潘峰编著 著
- 出版社： 北京：科学出版社
- ISBN：9787030339553
- 出版时间：2011
- 标注页数：400页
- 文件大小：28MB
- 文件页数：410页
- 主题词：声表面波器件
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图书目录
第1章 绪论1
1.1 声表面波基础1
1.1.1 声表面波器件的基本结构和工作原理1
1.1.2 声表面波的激励和传播2
1.2 声表面波器件的特点7
1.3 声表面波器件的发展9
1.3.1 声表面波理论和器件的发展9
1.3.2 声表面波叉指换能器理论和设计的发展12
1.3.3 声表面波压电材料的发展14
1.3.4 声表面波器件制造和封装技术的发展16
参考文献18
第2章 声表面波压电材料20
2.1 声表面波压电材料概论20
2.1.1 压电性基础20
2.1.2 声表面波压电材料的重要参数23
2.1.3 声表面波压电材料的一般要求25
2.2 压电单晶材料26
2.2.1 压电单晶材料的制备和切割27
2.2.2 石英38
2.2.3 钽酸锂42
2.2.4 铌酸锂45
2.2.5 四硼酸锂50
2.2.6 锗酸铋与硅酸铋55
2.2.7 硅酸镓镧系列压电单晶材料56
2.2.8 其他压电单晶材料63
2.3 压电陶瓷材料67
2.3.1 压电陶瓷材料的特点68
2.3.2 锆钛酸铅系列压电陶瓷材料71
2.3.3 压电陶瓷材料制备技术75
2.4 压电薄膜材料78
2.4.1 压电薄膜材料的特点78
2.4.2 压电薄膜材料的制备80
2.4.3 压电薄膜材料的质量评价85
2.4.4 氧化锌压电薄膜材料95
2.4.5 氮化铝和氮化镓压电薄膜材料127
2.4.6 铌酸锂和钽酸锂压电薄膜材料138
2.4.7 铌酸钾和五氧化二钽压电薄膜材料142
2.4.8 锆钛铅酸系列压电薄膜材料144
参考文献145
第3章 叉指换能器设计理论和叉指换能器材料156
3.1 叉指换能器基本原理与特性156
3.1.1 工作原理157
3.1.2 静电特性158
3.1.3 离散源近似162
3.1.4 频响特性163
3.1.5 脉冲响应165
3.1.6 阻抗特性168
3.1.7 加权换能器170
3.2 二阶效应171
3.2.1 声电再生172
3.2.2 波速变化172
3.2.3 电极反射175
3.2.4 体声波辐射179
3.2.5 传播损耗182
3.2.6 薄膜电极电阻182
33 声表面波叉指换能器材料183
3.3.1 纯铝叉指换能器薄膜材料的结构与性能优化184
3.3.2 含过渡层的叉指换能器材料193
3.3.3 离子束辅助沉积优化叉指换能器材料198
3.3.4 微合金化和复合结构的叉指换能器材料209
3.3.5 其他叉指换能器材料214
参考文献214
第4章 压电多层膜结构声表面波器件220
4.1 压电多层介质的声表面波场理论220
4.1.1 坐标变换221
4.1.2 压电耦合波动方程的矩阵形式222
4.1.3 声平面谐波223
4.1.4 传递矩阵224
4.1.5 刚度矩阵225
4.1.6 频散方程227
4.1.7 声表面波振幅229
4.2 压电薄膜／半无限基底多层介质的声表面波特性分析230
4.2.1 声表面波的激励方式230
4.2.2 有效介电常数231
4.2.3 计算举例235
4.2.4 压电多层介质的计算及参量的选择241
4.3 压电多层膜结构声表面波器件设计模型与方法244
4.3.1 色散δ函数模型245
4.3.2 有效介电常数模型246
4.3.3 耦合模（COM）模型252
参考文献266
第5章 各类声表面波器件及其设计方法271
5.1 声表面波滤波器272
5.1.1 声表面波滤波器的基本原理274
5.1.2 声表面波滤波器的设计方法276
5.1.3 射频声表面波滤波器设计与实例286
5.1.4 声表面波滤波器的二阶效应和匹配网络296
5.2 声表面波谐振器301
5.2.1 声表面波谐振器的基本原理301
5.2.2 声表面波谐振器的设计方法305
5.2.3 声表面波谐振器的模拟306
5.3 声表面波延迟线310
5.3.1 声表面波延迟线的工作原理311
5.3.2 声表面波延迟线的设计和技术参数312
5.3.3 声表面波色散延迟线315
5.4 声表面波卷积器319
5.4.1 声表面波卷积器的基本原理320
5.4.2 声表面波卷积器的设计方法322
5.4.3 单片型波导声表面波卷积器324
5.5 声表面波传感器327
5.5.1 声表面波压力传感器327
5.5.2 声表面波加速度传感器329
5.5.3 声表面波气体传感器330
5.5.4 声表面波流量传感器343
5.5.5 声表面波化学和生物传感器344
参考文献345
第6章 声表面波器件的制备及表征349
6.1 声表面波器件的制备工艺349
6.1.1 前期衬底预处理350
6.1.2 金属叉指换能器图形的制作354
6.1.3 声表面波器件的后续工艺382
6.2 声表面波器件的性能测试387
6.2.1 器件生产过程中在片测试387
6.2.2 声表面波器件的参数测试391
6.3 展望396
参考文献399