先进光学元件微纳制造与精密检测技术PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载

先进光学元件微纳制造与精密检测技术PDF格式电子书版下载

注意：本站所有压缩包均有解压码： 点击下载压缩包解压工具

第1章 绪论1

1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求1

1.1.1 先进光学元件的特点1

1.1.2 先进光学元件的应用2

1.1.3 先进光学元件的制造技术要求6

1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴10

1.2 先进光学元件的制造技术14

1.2.1 光学元件的模压成形技术15

1.2.2 光学元件的精密切削技术16

1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术19

1.2.4 光学元件精密研抛技术21

1.2.5 精密光学加工环境控制技术24

1.3 先进光学元件的检测与评价技术25

1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点25

1.3.2 光学元件的检测技术27

1.3.3 光学误差的评价方法29

参考文献31

第2章 先进光学元件加工装备技术33

2.1 机床设计理论33

2.1.1 机床设计要求33

2.1.2 机床设计方法35

2.2 超精密机床关键部件及技术44

2.2.1 主轴部件46

2.2.2 直线导轨部件50

2.2.3 微位移进给部件52

2.3 超精密机床数控技术55

2.3.1 数控技术55

2.3.2 超精密加工数控系统60

2.3.3 开放式数控系统66

2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例69

2.4 超精密磨削加工装备70

2.4.1 超精密加工装备技术综述70

2.4.2 超精密磨削成形机床74

2.5 超精密加工工具技术78

2.5.1 超精密切削加工刀具技术78

2.5.2 超精密磨削砂轮技术81

参考文献83

第3章 先进光学元件磨削技术84

3.1 超精密磨削加工发展84

3.1.1 先进光学元件磨削技术概述84

3.1.2 延性磨削和镜面磨削85

3.2 超精密磨削过程分析88

3.2.1 超精密磨削机理88

3.2.2 磨削过程基本参数89

3.3 超精密磨削加工关键技术94

3.4 砂轮修整96

3.4.1 杯形砂轮修整97

3.4.2 ELID在线电解修整101

3.4.3 放电修整103

3.4.4 激光修整105

3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术107

3.5 非球面磨削加工技术108

3.5.1 微小非球面加工技术108

3.5.2 大口径非球面磨削加工技术112

3.5.3 自由曲面磨削加工技术118

3.6 工艺软件设计开发123

3.6.1 数控编程格式124

3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例126

3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例128

3.7 超声振动复合磨削加工技术133

3.8 加工实例135

参考文献139

第4章 先进光学元件抛光技术140

4.1 超精密抛光加工发展140

4.2 平面光学元件抛光技术143

4.2.1 平面抛光原理143

4.2.2 平面抛光轨迹控制143

4.2.3 平面抛光材料去除模型148

4.3 非球面光学元件抛光技术162

4.3.1 非球面气囊抛光原理162

4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制164

4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制174

4.3.4 气囊抛光材料去除模型183

参考文献187

第5章 先进光学元件精密检测技术191

5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术191

5.1.1 摆臂式轮廓检测法192

5.1.2 长行程轮廓检测法201

5.1.3 五棱镜轮廓检测法202

5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术205

5.2.1 零位干涉检测技术206

5.2.2 非零位干涉检测技术211

5.3 光学非球面精密检测平台216

5.3.1 小型光学非球面精密检测平台216

5.3.2 大型光学非球面精密检测平台220

参考文献224

第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术229

6.1 先进光学元件检测轨迹规划229

6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划229

6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划237

6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术238

6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术238

6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术243

6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究249

6.3.1 数据处理系统总体设计249

6.3.2 数据预处理249

6.3.3 误差补偿及结果252

参考文献257

第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术259

7.1 超精密加工环境监控技术概述259

7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展260

7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展261

7.2 超精密加工环境无线监控系统原理262

7.2.1 加工环境无线监控系统构成262

7.2.2 加工环境无线监控对象263

7.2.3 加工环境无线监控系统网络265

7.3 加工环境无线监控系统技术体系266

7.3.1 系统硬件组成266

7.3.2 系统软件组成270

7.4 加工环境无线监控系统监控实例273

参考文献279

第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制282

8.1 亚表面损伤概述282

8.1.1 表面质量与完整性的研究内容282

8.1.2 亚表面损伤的表现形式284

8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响291

8.2 亚表面损伤的形成机理292

8.2.1 亚表面裂纹的形成机理293

8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理296

8.2.3 亚表面层材料组织变化机理298

8.3 亚表面损伤的检测与评价300

8.3.1 损伤性检测技术300

8.3.2 无损检测技术304

8.3.3 亚表面损伤的评价306

8.3.4 亚表面损伤的预测308

8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制311

8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术311

8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术313

参考文献314