图书介绍
静电感应器件：物理、工艺与实践PDF|Epub|txt|kindle电子书版本网盘下载
- 李思渊编著 著
- 出版社： 兰州市：兰州大学出版社
- ISBN：7311018145
- 出版时间：2001
- 标注页数：263页
- 文件大小：25MB
- 文件页数：268页
- 主题词：
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图书目录
导论——20年来对静电感应器件(SID)的开拓性研究1
器件物理方面23
1 静电感应器件(SID)物理特点23
2 静电感应器件(SID)作用机制的研究25
3 BSIT的理论研究28
4 双极模式静电感应晶体管I—V特性饱和机制的分析模型36
5 BSIT电流增益hFS的分析40
6 静电感应晶闸管(SITH)的物理研究44
7 SITH的负阻转折特性54
8 对SITH负阻转折的物理分析62
9 SIT的特点和制造技术的研究69
设计制造技术方面69
10 复合结构的静电感应器件73
11 介质盖栅结构的超高频(微波)静电感应晶体管78
12 表面栅型静电感应晶体管结构和工艺特点84
13 双极型静电感应晶体管(BSIT)的研制90
14 硅/硅直接键合片(SDB)制造双极型静电感应晶体管93
15 100A/1200V静电感应晶闸管的设计96
16 多条小间距扩散结横向扩散比例的测量103
17 高压器件终端——场限环的设计及应用107
18 微米级光刻技术的研究111
19 影响微细铝条等离子刻蚀的物理化学因素113
20 铂—硅系复合电极的界面反应及电特性118
21 Al—Ti/W—PtSi—Si系统电性能的研究126
22 高阻外延技术的研究133
23 薄层硅烷同步外延的研究134
24 固定电荷的变化对界面态的影响及低温H2退火效应137
25 Si—SiO2界面的氧退火特性142
26 SiO2/Si界面金电荷效应随固定氧化层电荷的变化150
电参数的控制和工艺调节方面155
27 静电感应器件的电性能155
28 静电感应晶体管(SIT)电性能的控制163
29 结构尺寸对SIT电特性的影响171
30 材料参数的选取及其对SID电性能的影响175
31 SIT耐压容量的控制和工艺调节180
32 高频功率参数的控制与工艺调节185
33 工艺的离散性和波动性194
34 参数调节中的诸关系197
35 小沟道宽度对静电感应器件特性的影响199
36 BSIT的工艺控制和参数调节202
37 SITH电参数的控制和工艺调节205
电参数的测试和性能研究方面213
38 静电感应器件SID电学参数的测试213
39 微波SID功率参数测试的研究219
40 电力SITH动态参数测试原理与方法223
41 静电感应器件动态性能的研究227
42 静电感应器件动态参数的物理分析244
43 双极型静电感应晶体管开关性能的研究253
44 静电感应器件栅—源击穿特性的改善257
45 双极型静电感应晶体管(BSIT)的温度特性260